Bend Testing of Silicon Microcantilevers from 21°C to 770°C

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Silicon microcantilevers with MOSFET detection

We report the fabrication of silicon microcantilevers with MOSFET detection, to be used in force measurements for biomolecular detection. Thin cantilevers are required for a high force sensitivity. Therefore the source and drain of the transistors have been fabricated by As implantation to obtain shallow PN junctions. The cantilevers have been oriented on the non-standard (100) crystallographic...

متن کامل

Modeling of Photoinduced Deformation in Silicon Microcantilevers

A model for prediction the photostriction effect in silicon microcantilevers is built up based on the fundamentals of mechanics and semiconductor physics. By considering the spatial distribution and surface recombination of photoinduced carriers in silicon, the model interprets the cause of the photoinduced bending. The results from our model much more closely approximate the experimental value...

متن کامل

from linguistics to literature: a linguistic approach to the study of linguistic deviations in the turkish divan of shahriar

chapter i provides an overview of structural linguistics and touches upon the saussurean dichotomies with the final goal of exploring their relevance to the stylistic studies of literature. to provide evidence for the singificance of the study, chapter ii deals with the controversial issue of linguistics and literature, and presents opposing views which, at the same time, have been central to t...

15 صفحه اول

the role of russia in transmission of energy from central asia and caucuses to european union

پس ازفروپاشی شوروی،رشد منابع نفت و گاز، آسیای میانه و قفقاز را در یک بازی ژئوپلتیکی انرژی قرار داده است. با در نظر گرفتن این منابع هیدروکربنی، این منطقه به یک میدانجنگ و رقابت تجاری برای بازی های ژئوپلتیکی قدرت های بزرگ جهانی تبدیل شده است. روسیه منطقه را به عنوان حیات خلوت خود تلقی نموده و علاقمند به حفظ حضورش می باشد تا همانند گذشته گاز طبیعی را به وسیله خط لوله مرکزی دریافت و به عنوان یک واس...

15 صفحه اول

In-plane photonic transduction of silicon-on-insulator microcantilevers.

We demonstrate an in-plane photonic transduction method for microcantilevers, which have been widely investigated for sensor applications. In our approach the microcantilever is etched to form a single mode rib waveguide. Light propagates down the microcantilever and crosses a small gap at the free end of the microcantilever, some of which is captured by an asymmetrical multimode waveguide that...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: JOM

سال: 2015

ISSN: 1047-4838,1543-1851

DOI: 10.1007/s11837-015-1618-y